無塵車間操作須知

1.處理芯片時(shí)，無塵車間工程有必要戴上無纖維手套，運(yùn)用清洗過的潔凈鑷子挾制芯片，請(qǐng)勿以手指或其它任何東西觸摸芯片，遭碰觸污染過的芯片須經(jīng)清洗，方得持續(xù)運(yùn)用：

(1)任何一支鑷子前端(即挾制芯片端)如被碰觸過，或是鑷子墜落地上，有必要拿去清洗請(qǐng)勿用紙巾或布擦洗臟鑷子。

(2)芯片清洗后進(jìn)行下一程序前，若被手指碰觸過，有必要從頭清洗潔凈室工程。

(3)把芯片放置于石英舟上，準(zhǔn)備進(jìn)爐管時(shí)，若發(fā)現(xiàn)所用鑷子有污損現(xiàn)象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染，有必要將芯片從頭清洗，并當(dāng)即替換潔凈的鑷子運(yùn)用。

2.芯片有必要放置盒中，蓋起來存放于規(guī)定方位，盡可能不讓它暴露。

3.避免在芯片上說話，以避免唾液濺于芯片上，在芯片進(jìn)分散爐前，請(qǐng)?zhí)貏e留意，避免上述動(dòng)作發(fā)生，若芯片上沾有纖維屑時(shí)，用氮?dú)鈽寚娭?/p>

4.從鐵弗龍(Teflon)晶舟，石英舟(Quartz Boat)等載具(Carrier)上，取出芯片時(shí)，有必要垂直向上挾起，避免刮傷芯片，顯微鏡鏡頭確已離芯片，方可從吸座上移走芯片。

5.芯片上，若已長上氧化層，在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記。

6.操作時(shí)，不管是否戴上手套，手絕不能放進(jìn)清洗水槽。

7.運(yùn)用化學(xué)站或烤箱處理芯片時(shí)，務(wù)必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內(nèi)，不行運(yùn)用塑料盒。

8.擺置芯片于石英舟時(shí)，若芯片墜落地上或手中則有必要從頭清洗芯片，然后再進(jìn)氧化爐。

9.請(qǐng)勿觸摸芯片盒內(nèi)部，如被碰觸或有碎芯片污染，有必要重作清洗。

10. 手套，廢紙及其它雜碎東西，請(qǐng)勿留置于操作臺(tái)，手套若燒焦、磨破或纖維質(zhì)變多有必要換新。

11.非經(jīng)指示，絕不行敞開不熟悉的儀器及各種開關(guān)閥控制鈕或把手。

12.古怪的滋味或反響異常的溶液，色彩，動(dòng)靜等請(qǐng)即告訴相關(guān)人員。

13.儀器因操作過錯(cuò)而有任何損壞時(shí)，務(wù)必立刻奉告擔(dān)任人員或教師。

14.芯片盒進(jìn)出無塵室須保持潔凈，并以保鮮膜封裝，違者不得進(jìn)入。

15.無塵室內(nèi)一概運(yùn)用原子筆及無塵筆記本做記載，一般紙張與鉛筆不得攜入。

二、黃光區(qū)操作須知

1.濕度及溫度會(huì)影響對(duì)準(zhǔn)工作，在黃光區(qū)應(yīng)留意溫度及濕度，并應(yīng)削減對(duì)準(zhǔn)機(jī)附近的人，以削減濕、溫度的變化。

2.上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得攜出黃光區(qū)避免感光。

3.己上妥光阻，而在等待對(duì)準(zhǔn)曝光之芯片，應(yīng)放置于不透明之藍(lán)黑色晶盒之內(nèi)， 盒蓋有必要蓋妥。

4.光罩運(yùn)用時(shí)應(yīng)持取邊際，不得觸及光罩面，任何情況之下，光罩鉻膜不得與他物觸摸，以防刮傷，光罩之落塵能夠氮?dú)鈽尨抵?/p>

5.曝光時(shí)，應(yīng)避免用眼睛直視曝光機(jī)汞燈。

三、鑷子運(yùn)用須知

1.進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室后，應(yīng)先戴上手套后，再取鑷子，避免沾污。

2.唯有運(yùn)用潔凈的鑷子，才可持取芯片，鑷子一旦掉在地上或被手觸碰，或因其它原因而遭污染，有必要拿去清洗，方可再運(yùn)用。

3.鑷子運(yùn)用后，應(yīng)放于各站規(guī)定處，不行任意放置，如有特殊制程用鑷子，運(yùn)用后應(yīng)自行保管，不行和實(shí)驗(yàn)室內(nèi)各站之鑷子混合運(yùn)用。

4.持鑷子應(yīng)采"握筆式"姿態(tài)挾取芯片。

5.挾取芯片時(shí)，順序應(yīng)由后向前挾取，放回芯片時(shí)，則由前向后放回，避免刮傷芯片表面。

6.挾取芯片時(shí)，"短邊" (鋸狀頭)置于芯片正面，"長邊" (平頭)置于芯片背面，挾芯片空白部分，不行傷及芯片。

7.禁止將鑷子觸摸酸槽或D.I Water水槽中。

8.鑷子僅可做為挾取芯片用，禁絕做其它用處。