無塵室是污染操控的基礎(chǔ)，是一間具有了空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。在無塵室極高的硅晶片制作鏈中，必須是一個無污染源的環(huán)境、超潔凈的車間，硅晶片零件才能夠正常批量出產(chǎn)。通風(fēng)工程

    我國的無塵室發(fā)展起步與國外相比較晚，近二十年來，跟著越來越多外企在國內(nèi)開辦或合資開辦企業(yè)，一些高新技術(shù)對出產(chǎn)環(huán)境的要求進(jìn)步，為了提高競爭力，各個職業(yè)也開端尋求無塵室的質(zhì)量。

    恒溫恒濕中央空調(diào)系統(tǒng)工程,正確、合理的設(shè)計是確保無塵室安穩(wěn)運(yùn)轉(zhuǎn)的前提，在實(shí)際運(yùn)用中，不正確的保護(hù)操作和不規(guī)范的辦理都會使無塵室的空氣潔凈度降低，形成無塵室指標(biāo)達(dá)不到要求。因此，正確科學(xué)地進(jìn)行無塵室保護(hù)和辦理非常重要，而且這要從各方面來完善。

人員操控

    經(jīng)測驗(yàn)剖析，無塵室的微污染中80%是工作人員帶來的。當(dāng)工作人員進(jìn)出無塵室時塵土有顯著增加，潔凈度立刻劣化。因此在工作人員進(jìn)入無塵室前要做好清潔擦洗等防塵動作，且企業(yè)也要對工作人員進(jìn)行培訓(xùn)，并擬定相應(yīng)的章程和制度等。

物品辦理

    工作人員會帶入塵土，那么一切的物料及設(shè)備也會影響無塵室的清潔。在物流和設(shè)備進(jìn)入時，要做到不將任何微?；蛭⑸飵胧覂?nèi)。工作人員要在無塵室內(nèi)穿戴潔凈衣服，用無塵紙擦洗物料和設(shè)備。轉(zhuǎn)移時也要為地板鋪上現(xiàn)已清潔過的不銹鋼板，避免損壞地板。

環(huán)氧自流坪地面定期檢查

    對于無塵室中的各種設(shè)備，在無塵進(jìn)入室內(nèi)后，也要時常清潔滅菌，而且定期進(jìn)行檢查，避免無塵室內(nèi)塵粒和微生物的產(chǎn)生、繁殖和停留。

體系構(gòu)建和保護(hù)

    除了避免微塵進(jìn)入，無塵室也要設(shè)置凈化空調(diào)體系、水電體系、出產(chǎn)工藝設(shè)備等各類設(shè)備設(shè)備，來確保無塵室內(nèi)的空氣潔凈度級別運(yùn)用符合產(chǎn)品出產(chǎn)工藝的要求。在體系正常運(yùn)轉(zhuǎn)中，保護(hù)也是必不行少的。比如，空氣過濾器是否疏通正常、密封墊是否牢固、送風(fēng)機(jī)軸承的運(yùn)轉(zhuǎn)是否處于正常狀態(tài)等。每一項(xiàng)都影響了體系的運(yùn)轉(zhuǎn)，因此不行遺漏。