為檢查無(wú)塵車(chē)間作業(yè)正常所進(jìn)行的各項(xiàng)測(cè)驗(yàn)中，其中一項(xiàng)就是對(duì)室內(nèi)氣流的檢查。這是整個(gè)測(cè)驗(yàn)程序的組成部分。為了稀釋或消除室內(nèi)的懸浮污染，從而防止污染在室內(nèi)的堆集，室內(nèi)必須有充沛的氣流活動(dòng)。所以對(duì)氣流必須進(jìn)行檢測(cè)。

在紊流潔凈室中，無(wú)塵潔凈車(chē)間風(fēng)的運(yùn)送和混合都是紊流方式進(jìn)行的。為確保污染物被清楚，無(wú)塵車(chē)間的各個(gè)部分必須均實(shí)現(xiàn)良好的空氣混合。

 在單向流無(wú)塵潔凈車(chē)間中，為確保關(guān)鍵區(qū)域達(dá)到最潔凈的水平，其送風(fēng)直接來(lái)自高效過(guò)濾器。

無(wú)塵潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是潔凈室設(shè)計(jì)中受到重視的問(wèn)題，跟著潔凈室污染源的操控作用增加及末級(jí)過(guò)濾器效率的提高級(jí)，對(duì)有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、導(dǎo)則等提 出的推薦或參考值是否偏于保存，已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們憂(yōu)慮的噪音、損壞修理等問(wèn)題已在實(shí)踐中得到解決，跟著FFU的不斷改進(jìn)，對(duì)是否采用 FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個(gè)熱門(mén)：懸浮分子污染(AMC)的操控在微電子及IC工業(yè)中已日益說(shuō)到日程上來(lái)，受到重視。以下對(duì)這些問(wèn)題的情況別離作歸納和分析。

無(wú)塵潔凈室內(nèi)必定潔凈度下氣流速度的確認(rèn)，隨潔凈室用處等具體情況而異，它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過(guò)濾器效率還受其他要素影響，就工業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度及選擇氣流速度的要素主要是：

(1)室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒開(kāi)釋源，根據(jù)具體情況而異，改變很大;

(2)室內(nèi)氣流流型及分布：?jiǎn)蜗蛄饕缶鶆颉⑵降鹊牧骶€，但會(huì)受到工藝設(shè)備安置和方位變化及人員活動(dòng)情況等的攪擾形成部分渦流;而非單向流要求充混合，防止死角及溫度分層。