「潔凈室」是指將必定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物掃除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電操控在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不管外在之空氣條件怎么改變，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無(wú)塵潔凈車間潔凈室最主要之作用在于操控產(chǎn)品(如硅芯片等)所觸摸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)杰出之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制作，此空間咱們稱之為「潔凈室」。

潔凈室控管：?能防止微塵粒子之產(chǎn)生；溫度和濕度之操控；有害氣體之掃除；防制靜電。

潔凈室之分類無(wú)塵潔凈車間

1.亂流式：空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。

2.層流式：水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重；筆直層流式：房間天花板徹底以ULPA過(guò)濾器掩蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所

3.復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供部分超潔凈之空氣。