凈化車間工程為檢查凈化車間工作正常所進(jìn)行的各項(xiàng)測(cè)試中，其中一項(xiàng)就是對(duì)室內(nèi)氣流的檢查。這是整個(gè)測(cè)試程序的組成部分。為了稀釋或消除室內(nèi)的懸浮污染，從而防止污染在室內(nèi)的積累，室內(nèi)必須有充分的氣流流動(dòng)。所以對(duì)氣流必須進(jìn)行檢測(cè)。凈化車間工程

在紊流潔凈室中，風(fēng)的輸送和混合都是紊流方式進(jìn)行的。為確保污染物被清楚，無(wú)塵車間的各個(gè)部分必須均實(shí)現(xiàn)良好的空氣混合。

在單向流凈化車間中，為保證關(guān)鍵區(qū)域達(dá)到最潔凈的水平，其送風(fēng)直接來(lái)自高效過濾器。凈化車間工程

凈化車間無(wú)塵概念？按照國(guó)際慣例，無(wú)塵潔凈車間無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定?？刂圃谝粋€(gè)非常微量的單位上。這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。 每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。凈化車間工程目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)準(zhǔn)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。 

而無(wú)塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。