潔凈室、潔凈實驗室潔凈廠房的空間規(guī)劃，十萬級無塵凈化應(yīng)滿意產(chǎn)品出產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級的要求。合理安排、安頓出產(chǎn)潔凈區(qū)，人員凈化、物料凈化、工藝設(shè)備及相應(yīng)物料供應(yīng)管線，凈化空調(diào)系統(tǒng)和各種公用動力設(shè)備及其管線等是潔凈室空間規(guī)劃的首要任務(wù)。進行空間規(guī)劃時，應(yīng)仔細考慮出產(chǎn)潔凈區(qū)與相關(guān)的輔助出產(chǎn)區(qū)之間的關(guān)系，有必要使空間安頓做到有效、活絡(luò)；

潔凈實驗室關(guān)于一般的潔凈室在吊頂上部或樓面下安頓送風、回風和排風管道以及各種水、氣、電管線等，需求設(shè)置必要的空間于筆直單向流為主的潔凈室，首要應(yīng)在選擇好氣流流型、凈化空調(diào)系統(tǒng)的方法和空調(diào)機、空氣過濾器的前提下，合理、有效地安頓潔凈室的空間：在潔凈室規(guī)劃特別是單向流潔凈室規(guī)劃中，氣流流型、凈化空調(diào)設(shè)備的選擇和安頓方案的選擇是承認潔凈室空間安頓的首要因素；

潔凈實驗室在一般建筑規(guī)劃中，空調(diào)機是建筑物的隸屬設(shè)備．十萬級凈化車間它僅僅是補充完善建筑物的功用設(shè)備，但在潔凈廠房中凈化空調(diào)設(shè)備是完成空氣潔凈度的首要功用設(shè)備。當然對工業(yè)潔凈室來說，出產(chǎn)工藝設(shè)備、工具和產(chǎn)品出產(chǎn)所需純水、純氣、高純化學品 以及安穩(wěn)的電力供應(yīng)等也都是潔凈廠房產(chǎn)品出產(chǎn)所有必要的重要條件。

無塵室，也稱潔凈室，是指一個具有低污染水平的環(huán)境，這兒所指的污染來歷有塵埃，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發(fā)性氣體。更地講，一個潔凈室具有一個受控的污染等級，污染等級可用每立方米的顆粒數(shù)，或許用大顆粒大小來厘定的。初級其他潔凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的（如沒有受控的微生物），更多的是關(guān)心空氣傳播的塵埃。

  無塵室的界說：空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物打掃，而得到一個恰當潔凈的環(huán)境。亦即：這個環(huán)境中的微塵粒子恰當少，稱之為潔凈室。潔凈室被廣泛地運用在對環(huán)境污染特別活絡(luò)的工作，例如半導體出產(chǎn)、生化技能、生物技能、精密機械、制藥工作等，其中以半導體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴峻、故其必需操控在某一個需求范圍內(nèi)，才不會對制程產(chǎn)生影響。作為出產(chǎn)設(shè)備，潔凈室能夠占有廠房許多方位。

  無塵室系統(tǒng)制造符合標準之潔凈空氣，接連且安穩(wěn)供應(yīng)滿意之潔凈空氣于運用端，潔凈室內(nèi)的制造區(qū)。以下由立凈簡略介紹潔凈室的處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱開始過濾微塵并操控其溫濕度后，經(jīng)由回風管道間，將潔凈室之循環(huán)風量與外氣空調(diào)箱之補充風量混合，經(jīng)由冷卻盤管將回風管道間之回風降溫至凈室要求之標準，經(jīng)過循環(huán)電扇或FFU帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，最終經(jīng)過超高功用過濾網(wǎng)或過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。