光學(xué)微電子凈化工程定義為將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物掃除,并將室內(nèi)溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音轟動(dòng)及照明、靜電操控在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)的密閉空間,電子光學(xué)車間凈化。
光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,已是半導(dǎo)體、精密制作、液晶制作、光學(xué)制作、線路板制作和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制作等職業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)創(chuàng)新開展,關(guān)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化的需求更為火急。如超大型積體電路的研究制作,已成為世界各國(guó)在科技開展上極為重視的項(xiàng)。
光學(xué)微電子凈化工程一般包括:
1. 潔凈生產(chǎn)區(qū)
2.潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3.管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和歇息)
4.設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)體系應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)
潔凈車間所需材料電子光學(xué)車間凈化
1. 凈化廠房墻、頂板材一般多選用50mm厚的夾芯彩鋼板制作,其特點(diǎn)為漂亮、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般選用專用氧化鋁制作。
2.地面可選用環(huán)氧自流坪地坪或高檔耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風(fēng)口用不銹鋼結(jié)構(gòu),漂亮清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
電子光學(xué)車間凈化解決方案:
組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口。
組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段,如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中心段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。
優(yōu)點(diǎn):
A.空氣處理效果好,因空氣經(jīng)過集中處理,在送風(fēng)過程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的操控比較精 確;
B.比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;
C.空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)體系合用或獨(dú)立冷熱源;
D.維修頻率較低;
E.車間的噪音低。
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