光學(xué)微電子凈化工程定義為將必定空間范圍內(nèi)空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物掃除，并將室內(nèi)溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電操控在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別規(guī)劃的密閉空間。

光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室電子光學(xué)車間凈化，已是半導(dǎo)體、精密制作、液晶制作、光學(xué)制作、線路板制作和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食物制作等職業(yè)不可或缺的重要設(shè)備。近幾年來(lái)，因?yàn)榧夹g(shù)創(chuàng)新開(kāi)展，關(guān)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化的需求更為迫切。如超大型積體電路的研究制作，已成為世界各國(guó)在科技開(kāi)展上極為注重的項(xiàng)。

光學(xué)微電子凈化工程一般包含電子光學(xué)車間凈化:

1. 潔凈生產(chǎn)區(qū)

2.潔凈輔助間(包含人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)

3.辦理區(qū)(包含辦公、值班、辦理和歇息)

4.設(shè)備區(qū)(包含凈化空調(diào)體系使用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)

潔凈車間所需資料

1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制作，其特色為漂亮、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁制作。

2.地上可采用環(huán)氧自流坪地坪或高檔耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。

3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫作用好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。

4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，漂亮清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。

光學(xué)微電子凈化工程解決方案:

組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口。

組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段，如混合段、初效過(guò)濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中心段)、加熱段、加濕段、中效過(guò)濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組供給。

優(yōu)點(diǎn):

A.空氣處理作用好，因空氣經(jīng)過(guò)會(huì)集處理，在送風(fēng)進(jìn)程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的操控比較準(zhǔn)確;

B.比較適用于有會(huì)集冷源的或是較大的廠房;

C.空調(diào)冷熱源可與廠房一般空調(diào)體系合用或獨(dú)立冷熱源;

D.修理頻率較低;

E.車間的噪音低。